adress

1666 Jianye Road, High-tech Zone, Leshan City, Sichuan Provinice, Kina.

telefonnummer +86 15390206217

Kemikalier för halvledarprocesser

cc09bd33a0ddd2aaadac4a8a4d3008a1Halvledartillverkning är till stor del en kemiskt relaterad process, där upp till 20 % av processtegen är rengöring och förberedelse av waferytor:

Vi är vana vid att hänvisa till de kemiska materialen som används vid wafertillverkning som processkemikalier, som finns i olika kemiska former (flytande och gasformiga) och är strikt kontrollerade i renhet.Huvudfunktionerna för dessa processkemikalier är följande:

Rengör skivans yta med våt kemisk lösning och ultrarent vatten;

Doping av kiselskivor med högenergijoner för att erhålla kiselmaterial av P-typ eller N-typ;

Avsättning av olika metallledande lager och nödvändiga dielektriska lager mellan ledarlager;

Generera ett tunt SiO2-skikt som det dielektriska materialet för huvudporten för MOS-enheter;

Använd plasmaförstärkt etsning eller våta reagenser för att selektivt ta bort material och bilda det önskade mönstret på filmen;

Flytande reagenser med hög renhet klassificeras i tre kvaliteter: UP-S, UP och EL enligt deras renhet, och EL är vidare uppdelad i:

Elektronisk klass 1 (EL-Ⅰ)
har en metallföroreningshalt på 100–1000 PPb, vilket motsvarar SEMI C1 C2-standarden;

Elektronisk klass 2 (EL-Ⅱ)
dess innehåll av metallföroreningar är 10-100 PPb, vilket motsvarar SEMI C7-standarden;

Elektronisk klass 3 (EL-Ⅲ)
har en metallföroreningshalt på 1–10 PPb, vilket motsvarar SEMI C7-standarden;

Elektronisk klass 4 (EL-IV)
har en metallföroreningshalt på 0,1–1PPb, vilket motsvarar SEMI C8-standarden;

Ultrarena och högrena reagenser är internationellt kända som processkemikalier, även kända som våtkemikalier, och är ett av de viktigaste grundläggande kemiska materialen i produktionsprocessen av integrerade kretsar (IC) och mycket storskaliga integrerade kretsar (VLSI) .Den används också för rengöring och etsning av silikonskivans yta.Renheten och renheten hos ultrarena och högrena reagenser har en mycket viktig inverkan på utbytet, elektriska egenskaper och tillförlitlighet hos integrerade kretsar.Det finns många varianter av kemikalier av elektronisk kvalitet och höga tekniska krav.Den är baserad på utvecklingen av mikroelektronikteknik.Med utvecklingen av mikroelektronikteknik utvecklas den synkront eller i förväg.Samtidigt begränsar det utvecklingen av mikroelektronikteknik.


Posttid: 23 juni 2022